RT null T1 Study of high In-content AlInN deposition on p-Si(111) by RF-sputtering A1 Núñez-Cascajero A., A1 Monteagudo-Lerma L., A1 Valdueza-Felip S., A1 Monroy E., A1 González-Herráez M., A1 Naranjo F.B., A1 Navío, Cristina YR 2016 FD 2016 LK http://hdl.handle.net/20.500.12614/462 UL http://hdl.handle.net/20.500.12614/462 LA en DS Repositorio institucional de IMDEA Nanociencia RD 16 may. 2026