TY - JOUR AU - Cartamil-Bueno S.J. AU - Steeneken P.G. AU - Tichelaar F.D. AU - Navarro-Moratalla E. AU - Venstra W.J. AU - van Leeuwen R. AU - Coronado E. AU - van der Zant H.S.J. AU - Steele G.A. AU - Castellanos-Gomez A. PY - 2015 DO - 10.1007/s12274-015-0789-8 UR - http://hdl.handle.net/20.500.12614/1033 T2 - Nano Research LA - en M2 - 2842 TI - High-quality-factor tantalum oxide nanomechanical resonators by laser oxidation of TaSe2 TY - research article VL - 8 ER -